HYDAC壓力傳感器頻率響應(yīng)范圍HDA4745-A-400-000
賀德克HYDAC壓力傳感器由于半導(dǎo)體集成化制造工藝的發(fā)展，用此技術(shù)與半導(dǎo)體應(yīng)變片相結(jié)合，可以直接制成各種小型和超小型半導(dǎo)體應(yīng)變式傳感器，使測(cè)量系統(tǒng)大為簡(jiǎn)化。賀德克HYDAC壓力傳感器固體受力后電阻率發(fā)生變化的現(xiàn)象稱為壓阻效應(yīng)。壓阻式壓力傳感器是基于半導(dǎo)體材料(單晶硅)的壓阻效應(yīng)原理制成的傳感器，就是利用集成電路工藝直接在硅平膜片上按一定晶向制成擴(kuò)散壓敏電阻，當(dāng)硅膜片受壓時(shí)，膜片的變形將使擴(kuò)散電阻的阻值發(fā)生變化。壓阻式具有極低的價(jià)格和較高的精度以及較好的線性特性。它的靈敏系數(shù)比后者要大幾十倍甚至上百倍，輸出信號(hào)有時(shí)不必放大即可直接進(jìn)行測(cè)量記錄。此外，賀德克HYDAC壓力傳感器半導(dǎo)體應(yīng)變片橫向效應(yīng)非常小，蠕變和滯后也小，頻率響應(yīng)范圍亦很寬，從靜態(tài)應(yīng)變至高頻動(dòng)態(tài)應(yīng)變都能測(cè)量。但是半導(dǎo)體應(yīng)變片也存在著很大的缺點(diǎn)，它的電阻溫度系統(tǒng)要比金屬電阻變化大一個(gè)數(shù)量級(jí)，靈敏系數(shù)隨溫度變化較大它的應(yīng)變-電阻特性曲線性較大，賀德克HYDAC壓力傳感器的電阻值和靈敏系數(shù)分散性較大，不利于選配組合電橋等等。
賀德克HYDAC壓力傳感器硅膜片是核心部分，其外形狀象杯故名硅杯，在硅膜上，用半導(dǎo)體工藝中的擴(kuò)散摻雜法做成四個(gè)相等的電阻，經(jīng)蒸鍍金屬電極及連線，接成惠斯登電橋再用壓焊法與外引線相連。膜片的一側(cè)是和被測(cè)系數(shù)相連接的高壓腔，另一側(cè)是低壓腔，通常和大氣相連，也有做成真空的。當(dāng)膜片兩邊存在壓力差時(shí)，膜片發(fā)生變形，產(chǎn)生應(yīng)力應(yīng)變，從而使擴(kuò)散電阻的電阻值發(fā)生變化，電橋失去平衡，輸出相對(duì)應(yīng)的電壓，賀德克HYDAC壓力傳感器其大小就反映了膜片所受壓力差值。壓力傳感器是把壓力的變化轉(zhuǎn)換成電阻值的變化來進(jìn)行測(cè)量的，應(yīng)變片是由金屬導(dǎo)體或半導(dǎo)體制成的電阻體，其阻值隨壓力所產(chǎn)生的應(yīng)變而變化。而且可以靈活設(shè)計(jì)彈性敏感元件的形式以適應(yīng)各種應(yīng)用場(chǎng)合，賀德克HYDAC壓力傳感器所以用應(yīng)變片制造的應(yīng)變式壓力傳感器仍有廣泛的應(yīng)用。按彈性敏感元件結(jié)構(gòu)的不同,應(yīng)變式壓力傳感器大致可分為應(yīng)變管式、膜片式、應(yīng)變梁式、組合式四種。
賀德克HYDAC壓力傳感器即受到力的作用導(dǎo)致其發(fā)生形變，進(jìn)而電阻發(fā)生改變。壓阻式碳納米管壓力傳感器結(jié)構(gòu)主要由兩部分組成：一部分是懸空膜腔體；另一部分為碳納米管壓阻器。懸空膜用于將壓力轉(zhuǎn)變成形變。它通常由微加工工藝制成，大多數(shù)以硅作為四周支撐體，懸空膜則由絕緣材料構(gòu)成。碳納米管壓阻器由單個(gè)碳納米管及其電極構(gòu)成，制作于懸空膜上，用于將膜的形變轉(zhuǎn)換為電阻變化。壓力傳感器是自動(dòng)控制中使用最多的測(cè)量裝置之一。賀德克HYDAC壓力傳感器在大型的化工項(xiàng)目中,幾乎包含了所有壓力傳感器的應(yīng)用:差壓、絕壓、表壓、高壓、微差壓、高溫、低溫,以及各種材質(zhì)及特殊加工的遠(yuǎn)傳法蘭式壓力傳感器。數(shù)據(jù)測(cè)量的穩(wěn)定性和可能性得到提升，減小外界環(huán)境對(duì)壓力傳感器輸出干擾，賀德克HYDAC壓力傳感器可以對(duì)測(cè)量有選擇性地進(jìn)行。電阻應(yīng)變片應(yīng)用最多的是金屬電阻應(yīng)變片和半導(dǎo)體應(yīng)變片兩種。金屬電阻應(yīng)變片又有絲狀應(yīng)變片和金屬箔狀應(yīng)變片兩種。通常是將應(yīng)變片通過特殊的粘和劑緊密的粘合在產(chǎn)生力學(xué)應(yīng)變基體上，當(dāng)基體受力發(fā)生應(yīng)力變化時(shí)，賀德克HYDAC壓力傳感器電阻應(yīng)變片也一起產(chǎn)生形變，使應(yīng)變片的阻值發(fā)生改變，從而使加在電阻上的電壓發(fā)生變化。
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