當(dāng)聲波的頻率高達(dá)超過(guò)人耳聽(tīng)覺(jué)范圍的頻率極限即20000HZ時(shí)，人們就察覺(jué)不處聲波的存在，因而稱這種高頻率的聲波為超聲波。
超聲清洗是以空化作用為基礎(chǔ)的，超聲波是一種交變聲壓，在液體中傳播是出現(xiàn)稀疏密集狀態(tài)。在密集狀態(tài)時(shí)，液體受到正壓力（約幾個(gè)大氣壓）而在稀疏狀態(tài)時(shí)，液體受到拉力即負(fù)壓力。在拉力集中的地方，特別在液體有氣泡時(shí)及壁液交界面上發(fā)生破裂現(xiàn)象，液體中行成空腔稱為空化現(xiàn)象。
液體中一般都含有一定的氣體，或者是處于溶介狀態(tài)，或者是作為極小的氣泡附著于固體表面上。在稀疏狀態(tài)時(shí)，氣泡增長(zhǎng)，并吸收更多的液體中分介出來(lái)的氣體，而當(dāng)再壓縮時(shí)，氣泡不斷縮小，在此過(guò)程中，液體質(zhì)點(diǎn)的運(yùn)動(dòng)是與逐漸縮小著的氣泡半徑成反比的。因此，當(dāng)半徑趨于零時(shí)，質(zhì)量運(yùn)動(dòng)速度在理論上應(yīng)趨于無(wú)窮大。如果這一快速運(yùn)動(dòng)在氣泡閉合時(shí)突然停止，則集中在微小容積內(nèi)的動(dòng)能就要釋放出來(lái)。部分變?yōu)闊崮?，部分變?yōu)閴嚎s能。這時(shí)，從閉合空泡的中心向外傳播一個(gè)球形沖擊波。在這一點(diǎn)壓力有數(shù)千個(gè)大氣壓，若超聲頻率為F時(shí)，這種空化作用也是每秒鐘進(jìn)行F次。以每秒鐘這么大的沖擊力轟擊物體表面，使它破壞，這就是空化的侵蝕作用，因此超聲波具有強(qiáng)力清洗能力。
超聲清洗就是零部件上不同類型的沾污物在空化的侵蝕、乳化和攪拌作用下，加之以適宜的溫度、時(shí)間及清洗液的化學(xué)作用下被清除干凈，達(dá)到清洗的目的。