近期，科技部組織召開了863計(jì)劃“水陸交通安全傳感器及系統(tǒng)”和“汽車電子穩(wěn)定程序（ESP）微傳感器及系統(tǒng)”課題驗(yàn)收會(huì)。驗(yàn)收專家聽取了課題匯報(bào)，審查了相關(guān)資料，進(jìn)行了現(xiàn)場(chǎng)考察并觀看了成果演示，一致同意兩課題通過(guò)驗(yàn)收。

　　“水陸交通安全傳感器及系統(tǒng)”課題針對(duì)水路交通和公路交通安全需求，基于MEMS矢量水聽器開展了水路交通安全避障系統(tǒng)研究，解決了MEMS矢量水聽器批量化制造、封裝、集成等關(guān)鍵技術(shù)；基于溫度、鹽度、水膜、變頻等傳感器開展了路面?zhèn)鞲衅飨到y(tǒng)研究，解決了多傳感模塊集成化和相關(guān)軟件算法等關(guān)鍵技術(shù)。MEMS矢量水聽器完成了800套產(chǎn)品的示范應(yīng)用，并具備了小批量生產(chǎn)能力；路面?zhèn)鞲衅飨到y(tǒng)完成了5027套產(chǎn)品的合同銷售，具備了批量生產(chǎn)能力，實(shí)現(xiàn)了實(shí)際應(yīng)用。該課題成果促進(jìn)了我國(guó)水路交通安全避障系統(tǒng)的發(fā)展，實(shí)現(xiàn)了我國(guó)路面?zhèn)鞲衅飨到y(tǒng)國(guó)產(chǎn)化并促進(jìn)了其推廣應(yīng)用。

　　“汽車電子穩(wěn)定程序（ESP）微傳感器及系統(tǒng)課題是針對(duì)ESP（汽車電子穩(wěn)定程序，下同）高性能、低成本和高可靠性的應(yīng)用目標(biāo)，開展了MEMS（微機(jī)電系統(tǒng)，下同）陀螺儀和加速度傳感器設(shè)計(jì)、MEMS慣性器件批量制造與測(cè)試、低成本塑封空腔外殼集成封裝、ESP系統(tǒng)研制及傳感器驗(yàn)證等研究，突破了MEMS陀螺儀數(shù)字閉環(huán)系統(tǒng)設(shè)計(jì)、圓片級(jí)真空封裝、低應(yīng)力塑封、圓片級(jí)在片測(cè)試、MEMS傳感器成品率控制等關(guān)鍵技術(shù)。在陀螺儀數(shù)字化電路、注塑空腔封裝、MEMS陀螺儀和加速度傳感器在片自動(dòng)測(cè)試等方面有所創(chuàng)新，開發(fā)出了基于自主研制MEMS陀螺儀和MEMS加速度傳感器的汽車ESP系統(tǒng)，可靠性滿足汽車環(huán)境標(biāo)準(zhǔn)，完成汽車應(yīng)用環(huán)境試驗(yàn)和路試，實(shí)現(xiàn)了示范應(yīng)用。