隨著人口老齡化和中國(guó)醫(yī)療保健系統(tǒng)的健全，各種遠(yuǎn)距離監(jiān)護(hù)和高精度治療設(shè)備將越來(lái)越多地被引入。醫(yī)療保健市場(chǎng)逐漸成為MEMS傳感器應(yīng)用的又一大市場(chǎng)。MEMS具有微型的特點(diǎn)，可以代替器官植入、微量檢測(cè)，主要的發(fā)展方向是血管內(nèi)手術(shù)和顱內(nèi)手術(shù)以及細(xì)胞手術(shù)。目前，很多傳感器已經(jīng)成功的應(yīng)用的醫(yī)療設(shè)備中了，如，MEMS加速度傳感器用于無(wú)創(chuàng)胎心檢測(cè)，傾角模塊在醫(yī)療手術(shù)床上應(yīng)用等。

　　MEMS傳感器在消費(fèi)電子領(lǐng)域中主要應(yīng)用于運(yùn)動(dòng)/墜落檢測(cè)、導(dǎo)航數(shù)據(jù)補(bǔ)償、游戲/人機(jī)界面、電源管理、GPS增強(qiáng)/盲區(qū)消除、速度/距離計(jì)數(shù)、其他體育和保健應(yīng)用等等。這些MEMS技術(shù)都在很大程度上提高了用戶體驗(yàn)，并帶來(lái)了全新的電子消費(fèi)產(chǎn)品。其中加速度計(jì)是該市場(chǎng)中第一大應(yīng)用產(chǎn)品。而近期陀螺儀增長(zhǎng)迅速，已經(jīng)成為繼加速度計(jì)后的第二大應(yīng)用產(chǎn)品。

　　汽車電子是傳感器的一個(gè)重要應(yīng)用領(lǐng)域。隨著電子技術(shù)的發(fā)展和汽車電子控制系統(tǒng)應(yīng)用的日益廣泛，汽車傳感器市場(chǎng)需求將保持高速增長(zhǎng)，微型化、多功能化、集成化和智能化的傳感器將逐步取代傳統(tǒng)的傳感器，成為汽車傳感器的主流。每臺(tái)汽車會(huì)有40到上百個(gè)傳感器，而汽車智慧化的發(fā)展趨勢(shì)也將促進(jìn)汽車市場(chǎng)對(duì)傳感器的需求。

　　除去以上三個(gè)領(lǐng)域，在工業(yè)領(lǐng)域中，MEMS傳感器也有很多的應(yīng)用。小體積、低成本的MEMS傳感器越來(lái)越多地用在各種機(jī)械振動(dòng)監(jiān)測(cè)上，它可以用來(lái)監(jiān)測(cè)馬達(dá)、軸承等的振動(dòng)，從而實(shí)現(xiàn)預(yù)見(jiàn)性維護(hù);利用MEMS加速度計(jì)實(shí)現(xiàn)的傾角儀也被廣泛用在各種工業(yè)測(cè)量設(shè)備上;還有遙控直升機(jī)的伺服系統(tǒng)、兩輪車的平衡系統(tǒng)、天線穩(wěn)定平臺(tái)等。