對于采用
MEMS加速度計和陀螺儀的工業(yè)系統(tǒng)而言,優(yōu)化帶寬可能是關鍵考慮因素。這代表著精度(噪聲)與響應時間之間的一種經(jīng)典權衡。雖然多數(shù)MEMS傳感器制造商都會給出典型帶寬指標,往往還需要驗證傳感器或整個系統(tǒng)的實際帶寬。在確定加速度計和陀螺儀的帶寬特性時,一般需要使用振動臺或其他機械激勵源。要精確確定特性,需要全面了解應用于受測器件(DUT)的運動。在此過程中需要管理多種潛在誤差源。在機械帶寬測定中,一個常見的誤差源是諧振。導致機械諧振的原因有多種,包括激勵源維護不當、DUT與激勵源耦合不良以及基準傳感器放置等。這些誤差的隔離十分耗時,可能給至關重要的項目進度帶來風險。