目前致力于追求更高性能的領(lǐng)域來開展MEMS傳感器業(yè)務(wù)。比如汽車、產(chǎn)業(yè)設(shè)備以及醫(yī)療器械等。這些均是今后有望實(shí)現(xiàn)高度成長的領(lǐng)域。

　　在檢測汽車、產(chǎn)業(yè)設(shè)備以及洗衣機(jī)等使用的馬達(dá)的振動情況，以判斷是否發(fā)生異常的用途中，利用3軸加速度傳感器。通過利用FFT分析發(fā)生的振動的頻率成分，來推測振動發(fā)生的位置。例如，如果在低頻帶寬發(fā)現(xiàn)異常振動，可推斷是馬達(dá)外側(cè)的盒子發(fā)生異常，如果在中頻帶寬，可推斷是軸承部分發(fā)生了異常。

　　加速度傳感器除了檢測振動之外，還可用于檢測汽車的行李架、醫(yī)療器械的床體以及飛機(jī)等的傾斜角。在這類用途中，主要用來檢測±20g以下的相對比較緩慢的動作。

　　另一方面，陀螺儀傳感器用于檢測直升機(jī)、船舶以及無人駕駛飛機(jī)等的旋轉(zhuǎn)動作和方向變化。

　　采用MEMS技術(shù)的陀螺儀傳感器利用振動的物體上的“科氏力”來測量角速度。

　　今后在行人用導(dǎo)航儀方面，陀螺儀傳感器的使用將會增加。因?yàn)榕c車載導(dǎo)航儀相比，行人導(dǎo)航儀要求更高的傳感器性能。人的移動范圍遠(yuǎn)遠(yuǎn)比汽車廣。車載導(dǎo)航儀的前提是汽車行駛在道路上，而人四處移動。在利用GPS無法檢測到的位置等，要想實(shí)現(xiàn)更精準(zhǔn)的行人導(dǎo)航儀，就需要采用陀螺儀傳感器。