真空燒結(jié)爐主要用于半導(dǎo)體元器件及電力整流器件的燒結(jié)工藝，可進行真空燒結(jié)，氣體保護燒結(jié)及常規(guī)燒結(jié)。

　　是半導(dǎo)體專用設(shè)備系列中一種新穎的工藝裝備，它設(shè)計構(gòu)思新穎，操作方便，結(jié)構(gòu)緊湊，在一臺設(shè)備上可完成多個工藝流程。亦可用于其他領(lǐng)域內(nèi)的真空熱處理，真空釬焊等工藝。

　　燒結(jié)爐的使用：

　　1：檢查燒結(jié)爐電路和水路能否正常，如正常通電，通水。

　　2：翻開機械泵，過30秒后遲緩翻開預(yù)抽閥，1分鐘后翻開前級閥。

　　3：在真空度到達(dá)10Pa以下時翻開擴散泵，給擴散泵加熱

　　4：擴散泵加熱到60分鐘后，關(guān)閉預(yù)抽閥，翻開高真空閥，真空度會逐步到達(dá)高真空。

　　5：加熱啟動，在200度以下請你選用手動加熱，在控制面板手動操作菜單中，留意次運用時，把撥鈕上下動搖一次，然后撥到手動位置，啟動加熱，輸入50左右，肯定。

　　電流普通控制在300A以下，自動加熱：在溫度控制界面設(shè)定溫控表自動開端加熱或開啟手動位用手動開端加熱。

　　以上設(shè)置闡明：

　　從200度用時120分鐘到600度，600度時保溫30分鐘，從600度用時130分鐘到1000度，在1000度時保溫5個小時，從1000度降到600度用時60分鐘，60分鐘后程序自動中止（注：在時間上設(shè)定-121程序在此會自動中止）。

　　設(shè)定好加熱工藝后，首先中止手動加熱，然后把撥鈕撥到自動位置，啟動自動加熱程序，假如需求記載數(shù)據(jù)請在數(shù)據(jù)保管見面打“√”。

　　6：在保溫狀態(tài)下，一定要堅持循環(huán)水的正常循環(huán)。

　　7：保溫時間到后，關(guān)閉加熱開關(guān)，假如不需求高真空能夠關(guān)閉擴散泵，翻開預(yù)抽閥，關(guān)閉高真空閥，開端降溫。留意：機械泵不要關(guān)閉。

　　8：在溫度降到200度時關(guān)掉機械泵（擴散泵到達(dá)常溫），關(guān)閉一切閥門。

　　9：在常溫下釋放壓力，沖入空氣，將原料取出。

　　10：如不繼續(xù)工作，應(yīng)翻開機械泵和預(yù)抽閥再抽5分鐘真空，關(guān)閉機械泵和預(yù)抽閥。堅持工作室里有真空度，避免水汽侵入。

　　11、壓力操作：

　　首先在手動操作界面，報壓力形式撥到自動位置，能夠直接用儀表操作，設(shè)定好程序后按run鍵3秒啟動，按stop鍵3秒中止。