熱式質(zhì)量流量計(jì)用于直接測(cè)量氣體的質(zhì)量流量，并且不需要溫壓補(bǔ)償，具有高精度和長(zhǎng)期穩(wěn)定性的特點(diǎn)，可用于壓縮空氣的計(jì)量，過程行業(yè)的氣體流量測(cè)量，或者污水處理廠等的生物沼氣測(cè)量。
    熱式質(zhì)量流量計(jì)采用熱擴(kuò)散原理，熱擴(kuò)散技術(shù)是一種在苛刻條件下性能優(yōu)良、可靠性高的技術(shù)。其典型傳 感元件包括兩個(gè)熱電阻（鉑RTD），一個(gè)是速度傳感器，一個(gè)是自動(dòng)補(bǔ)償氣體溫度變化的溫度傳感器。當(dāng)兩個(gè) RTD被置于介質(zhì)中時(shí)，其中速度傳感器被加熱到環(huán)境溫 度以上的一個(gè)恒定的溫度，另一個(gè)溫度傳感器用于感應(yīng) 介質(zhì)溫度。流經(jīng)速度傳感器的氣體質(zhì)量流量是通過傳感 元件的熱傳遞量來計(jì)算的。氣體流速增加，介質(zhì)帶走的熱量增多。使傳感器溫度隨之降低。為了保持溫度的恒定，則必須增加通過傳感器的工作電流，此增加的部分電流大小與介質(zhì)的流速成正比。